书目

等离子体放电与材料工艺原理(第二版)

内容简介

本书反映了等离子体物理相关领域*的研究进展,深入阐述了等离子体物理和化学的基本原理。书中应用基本理论来分析各种常见等离子体源的放电状态,包括计算等离子体参数及分析等离子体参数与控制参数的相关关系。本书还讨论了半导体材料的刻蚀,薄膜沉积,离子注入等低温等离子体在材料处理方面的应用,具有实际参考价值。全书共18章,内容包括等离子体的基础知识、等离子体放电过程中的粒子平衡和能量平衡、容性和感性放电、波加热的气体放电、直流放电、刻蚀、沉积与注入、尘埃等离子体,以及气体放电的动理论等。

作者简介

MichaelLieberman教授分别于1962年和1966年从麻省理工学院获得学士和博士学位。1966年起执教于加州大学伯克利分校电机系,从事等离子体方面的教学和科研。1971年获得伯克利分校的杰出教学奖。Lieberman教授是APS,AAAS,IEEE,AVS和IOP会士,并曾于1999年获得IEEEplasmascienceandapplication奖,于2005年获得vonEngel奖,于2006年获得APS的WillALLIS奖。他是国际上公认的低温等离子体领域权威之一,与AlanLichtenberg合著的本书也成为低温等离子体领域最广泛使用的教材和科研用书。AllanLichtenberg教授于1952年从哈佛大学获得学士学位,1957年从麻省理工学院获得硕士学位,1961年从牛津大学获得博士学位。1957年起执教于加州大学伯克利分校电机系。Lichtenberg教授是国际著名的高温等离子体、等离子体放电和非线性动力学领域的先驱,在相关领域发表了约150篇文章并撰写多本著作,其中包括Phase-SpaceDynamicsofParticles,该书已有俄文译本。MichaelLieberman教授分别于1962年和1966年从麻省理工学院获得学士和博士学位。1966年起执教于加州大学伯克利分校电机系,从事等离子体方面的教学和科研。1971年获得伯克利分校的杰出教学奖。Lieberman教授是APS,AAAS,IEEE,AVS和IOP会士,并曾于1999年获得IEEEplasmascienceandapplication奖,于2005年获得vonEngel奖,于2006年获得APS的WillALLIS奖。他是国际上公认的低温等离子体领域权威之一,与AlanLichtenberg合著的本书也成为低温等离子体领域最广泛使用的教材和科研用书。AllanLichtenberg教授于1952年从哈佛大学获得学士学位,1957年从麻省理工学院获得硕士学位,1961年从牛津大学获得博士学位。1957年起执教于加州大学伯克利分校电机系。Lichtenberg教授是国际著名的高温等离子体、等离子体放电和非线性动力学领域的先驱,在相关领域发表了约150篇文章并撰写多本著作,其中包括Phase-SpaceDynamicsofParticles,该书已有俄文译本。

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