书目

光学薄膜厚度的光干涉测试方法

内容简介

光干涉测试技术是以波长为计量单位的现代光学测试技术的重要组成部分，具有测量结果准确、精度高、过程客观等优点。《光学薄膜厚度的光干涉测试方法》以光干涉测试技术为原理，以光学薄膜厚度参数为测量对象，介绍几种实现光学薄膜厚度测量的光干涉测试方法，包括干涉条纹法、快速傅里叶变换法、相位偏移干涉法、数字叠栅法，以及错位干涉法、外差干涉法和条纹扫描法。《光学薄膜厚度的光干涉测试方法》是作者研究工作的系统总结，具有理论与实践密切结合、论述系统深入、测试结果来源于工作实际的特点。

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