微纳尺度系统工程

《微纳尺度系统工程》是国际上论述系统工程方法在微纳技术中需求、发展和应用的di一本专著，共分为4部分。第一部分阐述了系统工程的基本概念及微纳技术这一主线，包括微纳技术概述、系统工程简介、系统工程过程和敏捷系统工程；第二部分讲述了微纳技术的研发流程，包括尺度效应概述、微机电系统（MEMS）技术、纳米技术概述、纳机电系统（NEMS）相关的自上而下和自下而上的纳米组装技术；第三部分论述了系统工程过程的要素，包括建模与仿真、微纳尺度接口、系统可靠性、测试与评估、项目的开发与实现等；第四部分介绍了系统工程对未来微纳技术发展的应用，包括纳米技术、生物医学微系统、自组装技术以及对微米纳米技术的预测。《微纳尺度系统工程》内容新颖、数据充实，适合微米纳米技术领域相关的MEMS、纳米技术、微电子、光电子、传感与测控等领域研究院所的设计师、工程师、管理者等科技人员，与高等院校相关学科的科研人员、研究生、高年级本科生以及其他相关科技人员阅读。