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微机电系统(MEMS)原理、设计和分析
作者
田文超
著
出版社
西安电子科技大学出版社
出版时间
2009年5月 第1版
ISBN
9787560622231
定价
30.00
内容简介
《微机电系统(MEMS)原理、设计和分析》系统地介绍了微机电系统的原理、设计和分析等知识,内容包括微机电系统的基本概念、常用材料、工作原理、分析方法、设计方法、加工工艺、表面特性、检测技术、主要应用以及COMSOL软件、微机电系统模块仿真。《微机电系统(MEMS)原理、设计和分析》可供高等学校机械、电子、仪器、微电子器件专业高年级本科生和研究生使用,也可为相关工程技术人员及科技管理人员提供参考。
作者简介
田文超,男,1968年出生,博士后,副教授,现在西安电子科技大学机电工程学院从事教学与科研工作。主要研究方向为微传感器和微执行器设计仿真、MEMS表面和界面分析以及电子封装技术。先后主持或参与10项国家及省部级项目,发表学术论文55篇,其中23篇被三大检索(SCl、El和ISTP)收录。记者对象:本科生、研究生、相关工程技术人员及科技管理人员参考使用。
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