非硅MEMS技术及其应用
- 作者
- 出版社 上海交通大学出版社
- 出版时间 2015年3月 第1版
- ISBN 9787313125255
- 定价 150.00
内容简介
非硅MEMS技术是在硅MEMS技术基础上发展起来的，又与硅MEMS技术互为补充。作者陈文元、张卫平、陈迪及其团队长期从事非硅MEMS技术的研究。根据多年的研究，《非硅MEMS技术及其应用》中详细叙述了非硅MEMS技术的特点，非硅材料，三维非硅微加工新技术，新型非硅微传感器和微执行器等非硅MEMS技术及其应用。《非硅MEMS技术及其应用》是作者长期从事非硅MEMS技术研究，理论结合实际，科学研究的总结。
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