微纳制造（影印版）

作者 [美]杰克逊著
出版社科学出版社
出版时间 2007年1月第1版
ISBN 9787030182432
定价 88.00

内容简介

纳米技术是当前科学研究与工业开发的热门领域之一。《微纳技术著作丛书：微纳制造（影印版）》全面阐述了微纳器件的设计和制造方面的知识，以及在设计和制造时所要考虑的诸多因素。书中涵盖了多种制造技术，包括微纳制造技术、体和表面微加工技术、LiGA技术、薄膜沉积技术、纳加工技术等。《微纳技术著作丛书：微纳制造（影印版）》内容丰富，讲解透彻，是一本相关领域电子工程师、材料科研工作者开发微纳米材料应用的全面的指南，同时也可作为微纳米机械和微纳米技术专业研究生的参考书。