书目

微机电器件设计、仿真及工程应用

内容简介

《微机电器件设计、仿真及工程应用》对微机电系统基础理论、关键问题及常用硅微机械器件做了详细介绍。在此基础上，以微机电系统中常用的核心器件为对象，结合大量工程实例，采用Ansys软件，详细介绍了采用有限元仿真技术对其设计可行性进行验证的方法，包括结构的静力学仿真、模态仿真、静电仿真、热力学仿真以及疲劳仿真等，为在有限元仿真技术方面的相关研究提供了一定的技术支持。《微机电器件设计、仿真及工程应用》可作为从事MEMS研究的设计人员的参考书，也可作为相关专业研究生的教材。

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