薄膜体声波谐振器结构分析的二维振动理论

薄膜体声波谐振器(FBAR)是一种利用压电效应制成的高精度频率基准器件，广泛应用于通信与传感领域。与传统谐振器相比，FBAR具有高频率、微尺寸、易加工、易集成等优势，更符合现代电子器件的发展趋势。然而，FBAR的结构振动分析涉及结构的复杂性、材料各向异性、高频率振动、多模态耦合、多物理场耦合等多方面的技术难题，目前，无论在学术界还是工业界，依然缺乏高效可靠的理论分析工具供研发人员使用。《薄膜体声波谐振器结构分析的二维振动理论》从线弹性压电理论出发，详细介绍两种适用于FBAR结构振动分析的二维近似理论，即基于幂级数展开法的高阶板理论及基于小扰动假设的二维标量微分方程理论。通过介绍这两种近似方法的应用，探讨FBAR结构振动分析中的一系列常见问题，包括模态耦合效应的基本规律、能陷效应及其应用、寄生模态的特征分析及抑制等。