内容简介
《信息科学技术学术著作丛书:集成电路三维系统集成与封装工艺(中文导读)》系统讨论用于电子、光电子和MEMS器件的2.5D、3D,以及3DIC集成和封装技术的新进展和未来可能的演变趋势,同时详尽讨论IC三维集成和封装关键技术中存在的主要工艺问题和可能的解决方案。通过介绍半导体工业中的集成电路发展,以及摩尔定律的起源和演变历史,阐述三维集成和封装的优势和挑战,结合当前三维集成关键技术的发展重点讨论TSV制程与模型、晶圆减薄与薄晶圆在封装组装过程中的拿持晶圆键合技术、三维堆叠的微凸点制作与组装技术、3D硅集成、2.5D/3DIC和无源转接板的3DIC集成、三维器件集成的热管理技术、封装基板技术,以及存储器、LED、MEMS、CIS3DIC集成等关键技术问题,最后讨论PoP、Fan-inWLP、eWLP、ePLP等技术。《信息科学技术学术著作丛书:集成电路三维系统集成与封装工艺(中文导读)》适合从事电子、光电子、MEMS等器件三维集成研究的工程师、技术研发人员、技术管理人员和科研人员阅读,也可以作为相关专业高年级本科生和研究生的教材。