微米纳米器件设计
- 作者
- 出版社 国防工业出版社
- 出版时间 2015年3月 第1版
- ISBN 9787118097849
- 定价 118.00
内容简介
《微米纳米器件设计》是MEMS设计的专著，主要介绍MEMS器件、系统和工艺的模型、模拟以及设计方法。在器件级设计中，介绍微传感器和微执行器的工作原理，偏微分方程和耦合偏微分方程的有限元网格划分、算法及后处理方法；在系统级设计中介绍MEMS系统级建模方法，例如接点分析法、等效电路法、VHDL等；在MEMS工艺模型中，介绍主要加工方法如硅各向异性腐蚀、DRIE、UV-LIGA等工艺模型及相关算法（元胞自动机、线算法等）。最后介绍MEMS设计软件结构、模块以及使用方法和算例。
目录
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