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先进功能材料丛书--先进纳米薄膜材料：制备方法及应用= Advanced Nano Deposi

内容简介

本书总结了纳米薄膜材料的国内外研究新进展，既详细地介绍了纳米薄膜材料的制备方法，又介绍了它们在电子器件领域的应用。系统阐述了薄膜及纳米结构的一系列制备技术，不仅包括溶胶凝胶法、MOCVD、电子束沉积、磁控溅射等传统技术，还包括近年来新发展起来的高分子辅助沉积法、3D打印、液相-电子束诱导沉积等技术。此外，本书还对纳米薄膜及其它纳米结构的一些典型应用做了介绍，并给出实例，包括磁性薄膜的应用、氧化物薄膜在燃料电池领域的应用、相变材料在存储器领域的应用和柔性薄膜器件等。本书适合材料、微电子等相关专业的研究生、科技人员和教学人员使用。

作者简介

林媛教授于1999年在中国科技大学获得凝聚态物理学博士，之后分别在北京中科院物理所、美国休斯顿大学和美国洛萨莫斯国家实验室进行博士后研究，并在美国Intel公司担任高级工程师。目前，她是电子科技大学的长江学者特聘教授。她在薄膜和纳米材料领域研究了近20年，包括使用脉冲激光沉积法、磁控溅射法和化学溶液法制备各种薄膜材料并开展其性能和应用的研究。林媛教授已发表90余篇学术论文和获得授权13项专利。

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先进功能材料丛书

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