薄膜晶体管原理及应用/高等学校电子信息类专业系列教材

作为薄膜晶体管(TFT)技术的入门教材，本书以非晶硅薄膜晶体管（aSiTFT)和多晶硅薄膜晶体管(pSiTFT)为例详细讲解了与TFT技术相关的材料物理、器件物理和制备工艺原理及其在平板显示中的应用原理等。本书共分7章。第1章简单介绍了薄膜晶体管的发展简史；第2章详细阐述了TFT在平板显示有源矩阵驱动中的应用原理；第3章深入讲解了薄膜晶体管相关的半导体、绝缘体和电极材料物理；第4章详细阐述了非晶硅TFT和多晶硅TFT器件物理的相关基础知识；第5章系统介绍了TFT制备的单项工艺原理；第6章仔细讲解了非晶硅TFT阵列和多晶硅TFT阵列工艺整合原理；第7章简单总结全书并展望了以aIGZOTFT为代表的非晶氧化物薄膜晶体管技术的发展趋势。每章后附有习题，可供课堂练习或课后作业使用。本书适合于作为大学本科生和研究生相关课程的教材，也适合针对从事TFT技术相关工作的工程技术人员作为技术培训和在职进修的教材或参考书籍。