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气相沉积薄膜强韧化技术
作者
杜军
著
朱晓莹
著
底月兰
著
出版社
国防工业出版社
出版时间
2015年12月
ISBN
9787118115222
定价
86.00
内容简介
本书重点介绍了作者课题组近几年来在国家自然科学基金、国防预研基金、重点实验室基金等一系列基础研究项目的支持下,在物理气相沉积硬质薄膜强韧化方法、理论、表征及强韧化薄膜应用领域的研究成果。主要论述了如何制备和表征具有强、韧性能的薄膜,包括薄膜的制备方法,薄膜强化技术,薄膜韧化技术,薄膜的强韧性能表征,薄膜内应力,强韧化薄膜实例。
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