书目

三维电子封装的硅通孔技术

内容简介

本书系统讨论了用于电子、光电子和微机电系统(MEMS)器件的三维集成硅通孔(TSV)技术的最新进展和可能的演变趋势,详尽讨论了三维集成关键技术中存在的主要工艺问题和潜在解决方案。首先介绍了半导体工业中的纳米技术和三维集成技术的起源和演变历史,然后重点讨论TSV制程技术、晶圆减薄与薄晶圆在封装组装过程中的拿持技术、三维堆叠的微凸点制作与组装技术、芯片与芯片键合技术、芯片与晶圆键合技术、晶圆与晶圆键合技术、三维器件集成的热管理技术以及三维集成中的可靠性问题等,最后讨论了具备量产潜力的三维封装技术以及TSV技术的未来发展趋势。本书适合从事电子、光电子、MEMS等器件三维集成的工程师、科研人员和技术管理人员阅读,也可以作为相关专业大学高年级本科生和研究生教材和参考书。

作者简介

JohnH.Lau(刘汉诚)博士,于2010年1月当选台湾工业技术研究院院士。之前,刘博士曾作为访问教授在香港科技大学工作1年,作为新加坡微电子研究所(IME)所属微系统、模组与元器件实验室主任工作2年,作为资深科学家在位于加利福尼亚的HPL、安捷伦公司工作超过25年。刘汉诚博士是电子器件、光电子器件、发光二极管(LED)和微机电系统(MEMS)等领域著名专家,多年从事器件、基板、封装和PCB板的设计、分析、材料表征、工艺制造、品质与可靠性测试以及热管理等方面工作,尤其专注于表面贴装技术(SMT)、晶圆级倒装芯片封装技术、硅通孔(TSV)技术、三维(3D)IC集成技术以及SiP封装技术。在超过36年的研究、研发与制造业经历中,刘汉诚博士发表了310多篇技术论文,编写和出版书籍120多章,申请和授权专利30多项,并在世界范围内做了270多场学术报告。独自或与他人合作编写和出版了17部关于TSV、3DMEMS封装、3DIC集成可靠性、先进封装技术、BGA封装、芯片尺寸封装(CSP)、载带键合(TAB)、晶圆级倒装芯片封装(WLP)、高密度互连、板上芯片(COB)、SMT、无铅焊料、钎焊与可靠性等方面的教材。刘汉诚博士在伊利诺伊大学(香槟校区)获得理论与应用力学博士学位,在不列颠哥伦比亚大学获得第一个硕士学位(结构工程),在威斯康辛大学(麦迪逊)获得第二个硕士学位(工程物理),在费尔莱迪金森大学获得第三个硕士学位(管理科学),在国立台湾大学获得土木工程专业学士学位。刘汉诚博士曾担任多家学术期刊编委。这些期刊包括美国机械工程师协会(ASME)会刊JournalofElectronicPackaging;美国电气电子工程师协会(IEEE)会刊Components,Packaging,andManufacturingTechnology;CircuitWorld;SolderingandSurfaceMountTechnology等。1990年至1995年,担任IEEE电子元件与技术会议(ECTC)主席和技术委员会主席;1987年至1992年,担任InternationalElectronicManufacturingTechnologySymposium会议主席和技术委员会主席;1987年至2002年,为ASME冬季年会SolderMechanicsSymposium会议组织者;为ASMEIMECE20103DICIntegrationSymposium会议组织者;1995年至2006年,担任IEEEECTC会议论文集出版主席。刘汉诚博士曾服务于IEEE元件封裝与制造技术(CPMT)理事会,并在过去的11年里每年都是理事会最杰出的讲师之一。刘汉诚博士获得ASME、IEEE、美国制造工程师协会(SME)等协会颁发的多个奖项。刘汉诚博士为ASME会士和IEEE会士(1994)。

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