外来元素融合铟锌氧化物透明导体\\半导体研究

本书利用射频磁控溅射技术将Ag元素、Ge元素、Al元素和Y元素加入至a-IZO中，研究了四种元素是否可以在不降低透明度的情况下提高a-IZO的导电性并形成新型a-TCO；同时，根据四种元素对a-IZO性能的影响，对Hosono等提出的工作假定进行了系统性评估。本书分为八章。第一章对本书内容进行了简要介绍。第二章对a-IZO相关材料的背景和发展进行了文献综述，对研究新型a-IZO相关材料的工作假定进行了详细分析。第三章概括了相关实验方法和技术细节。第四章和第五章系统研究了工作假定范畴内的Ag元素和Ge元素加入a-IZO中对光电性能的影响并对工作假定进行了评估。第六章和第七章系统研究了工作假定范畴外的Al元素和Y元素加入a-IZO对光电性能的影响并对工作假定进行了评估。第八章总结了本书的主要研究成果。