硅及其氧化物的电化学：表面反映、结构和微加工

作者章小鸽
出版社化学工业出版社
出版时间 2004年9月
ISBN 9787502556983
定价 68.00

内容简介

本书系统地介绍了关于硅及其氧化物的电化学从理论到实践的全部知识，包括对硅/电解液界面，阳极氧化，刻蚀，光效应，阴极特性及氧化-还原对，多孔硅和光电化学的详细阐述。对研究硅表面现象的科研人员和开发以硅为基的电子器件的工程师具有重大的实用意义。硅的电化学在硅技术与工艺和电化学系统中很重要，本书第一次全面介绍了硅在水溶液中的电化学知识。因此本书适合于硅及其氧化物领域的科研人员和工程师阅读，也可供相关专业学生参考。

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