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微机电系统设计与制造
作者
莫锦秋
编著
出版社
化学工业出版社
出版时间
2004年
ISBN
7502552375 或 9787502552374
定价
30.00
内容简介
本书主要从普及的角度介绍微机电系统及其相关技术,对微机电系统的定义、起源及研究现状、制造技术、系统构成、设计技术进行介绍。
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光机电一体化丛书
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