硅基锗材料生长与器件构筑
- 作者
- 出版社 哈尔滨工程大学出版社
- 出版时间 2020年4月 第1版
- ISBN 9787566126481
- 定价 46.00
内容简介
《硅基锗材料生长与器件构筑》是一本硅基锗材料及其光电器件方面的入门书籍。全书分为三个部分，首先介绍了硅基锗材料生长及器件的基础知识；其次阐述了采用低温缓冲层技术外延生长硅基锗材料，锗的原位硼（B）和磷（P）掺杂；后探讨了硅基锗PN结和PIN结构的基本物理特性，并给出相关特性的定性与定量分析。《硅基锗材料生长与器件构筑》可作为微电子专业的本科生及研究生的参考书，也可作为该领域工程技术人员的参考资料。
目录
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