微机械光子学
- 作者
- 出版社 科学出版社
- 出版时间 2007年1月 第1版
- ISBN 9787030182401
- 定价 40.00
内容简介
光学MEMS是MEMS中的热门领域，也是MEMS的重要发展方向之一。本书系统论述了光学MEMS和微机械光子学，书中阐述了此领域的理论及实验结构，并且介绍了多种器件及其应用。内容涉及激光二极管、共振传感器、光镊子等多种器件，最后，对微机械光子学的未来发展做了展望。本书内容丰富，系统阐述了光学MEMS，可供从事此领域的学生及工程技术人员参考。
目录
— END —