微机电系统技术

作者石庚辰编著
出版社国防工业出版社
出版时间 2002年
ISBN 7118025607 或 9787118025606
定价 18.00

内容简介

本书介绍微机电系统技术涉及的微机械学、微电子学、微光学、流体力学、自动控制等的学科内容，包括基本问题、常用材料、相关的集成电路制造技术等。

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